非接触厚み測定システム 
非接触レーザにて高精度厚み測定可能!
ウエハや基板、液晶ガラスなど
幅広い厚み測定に対応

非接触厚み測定システム

非接触レーザ変位センサにて
高精度厚み測定

COMSの高精度 自動ステージと
計測技術を連動した
高精度3次元形状測定システム
LAF-3Dシリーズ(センサ搭載タイプ)

3次元形状測定システム

非接触レーザにて
高精度・非接触3次元形状測定

精密卓上型3軸ロボット RAP3(標準タイプ)
さまざまなツールと組み合わせるだけで、
簡単に専用カスタマイズロボットに
COMSの自動ステージ・位置決めステージ技術を駆使
業界最高水準の位置決め精度を実現

精密卓上型3軸ロボット

ツールと組み合わせ
簡単に専用ロボットに

高精度 自動ステージ(位置決めステージ)では
ステッピングモータステージ
ACサーボモータステージ
シャフトモータステージの
幅広い自動ステージ製品ラインナップを
ご用意しております。

自動ステージ
位置決めステージ

多様なバリエーション
カスタマイズ可能