非接触ウエハ厚み測定システム

液晶視野角測定を自動化！ＥＭＳ

非接触ウエハ厚み測定システム

特長

レーザ変位センサを２台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。

・非接触測定
非接触レーザ変位センサで計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。

・マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能
非接触レーザ変位センサでは、通常は比較測定になりますが、専用冶具にて２台のセンサを正確に保持することで、マスターワークを用意すれば　厚みの絶対値測定も可能となります。

・２台のセンサを簡単設定
レーザ変位センサ専用の固定治具をあらかじめセットアップしてあるため、レーザ変位センサを取り付けるだけで、簡単に厚み測定システムの構築が可能です。

・位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
自動ステージの位置決め、測定データの収集、上下レーザ変位センサの測定データの演算、結果（交差判定、良品・不良品判定）まですべて簡単なＥＸＣＥＬ連動の計測・位置決めアプリケーションソフトE-mesure　１つでできます。測定設定後は、ボタン一つですべて測定が可能となります。

・ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応
測定対象物の大きさ、厚み等により、対象物の固定治具や、システムをユーザ様のご要望に応じてあらゆるカスタマイズに対応します。 12インチウエハなど、大型サンプルでの実績もございますので、お気軽にご相談ください。

アプリケーション

・シリコン・ガリヒ素などのウエハ厚み測定（8インチ、12インチも対応可能）
・液晶ガラス基板厚み測定
・プリント基板厚み測定

測定例

・シリコンウエハ厚み測定例

非接触ウエハ厚み測定システム

・シリコンウエハ　表面・裏面形状測定例

非接触ウエハ厚み測定システム

・付属のうねり測定ソフトでのうねり測定

非接触ウエハ厚み測定システム　うねり測定

仕様

測定部		レーザ変位センサ２台（お手持ちのレーザ変位センサがご使用いただけます。）
ステージシステム部		厚み測定専用治具（自動ＸＹステージシステム＋サンプル設置治具＋センサ固定治具）
ステージストローク		自動ＸＹステージシステム部 50mm、100mm、200mm、300mmより選択可能
ステージコントローラ		CP-500、CP-310より選択可能
測定アプリケーション		E-Measure＋ウエハうねり・そり測定ソフト
適応パソコンおよび環境		Windows98SE、WindowsME、WindowsXP Excel97以上（全てのパソコンで動作保証するものではありません）
計測方法	マニュアル･ポジション計測	自動ステージを手動キー操作や設定移動量送りで位置決めしながら計測データを収集できます。 ◇データはリアルタイムにExcelへ収集されます。 ◇登録された複数の自動ステージ・計測器に対応できます。
	インデックス･ポジション計測	測定範囲と測定間隔の登録だけで格子状（パレッタイジング）に移動-停止-計測を.繰り返しながら自動計測をおこないます。 ◇データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存　できます。 ◇登録された1軸または2軸の自動ステージと1台の計測器に　対応できます。
	高速インデックス･ポジション計測	CP-500/310とCA-800をセットで使用すれば、測定範囲と測定間隔の登録だけで格子状にノンストップ移動しながら指定間隔毎に自動計測をおこないます。 ◇データは測定終了後CSV形式で保存できます。 ◇登録されたCP-500/310 1台とCA-800 1台に対応できます。
	Excelポジション計測	ティーチングまたは座標値入力されたExcelファイルを指定するだけで記述された位置へ自動的に移動して自動計測をおこないます。 ◇データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存で　きます。 ◇登録された複数の自動ステージ、計測器に対応できます。

＜付属ソフト＞　
ＥＸＣＥＬコンバータ：
格子状に測定したC S V 形式データをExcelへXY配列で変換して3Dグラフを描画することができます。
データリフォーマ：
格子状に測定したCSV形式データをXY軸ミラー反転や計測データの符号反転などデータを自由に加工できます。
うねり測定ソフト（EXCELアドイン）：
格子状に測定したCSV形式データにて断面のうねり・そり量の測定ができます。　　　　　