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LAF-3DMA（市販センサ使用タイプ）市販センサ活用
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お手持ちのレーザ変位センサを利用できるため、ローコストで、お客様の仕様にあわせ、レーザ変位センサを自由に
選択することがきます。 ご使用頂けるレーザ変位センサは、測定値のアナログ出力があるものであれば、 ほとんどのものがご使用頂けます。 お手持ちのレーザ変位センサなどで、ご使用頻度が低いものも、 ３次元測定システムと組合せすることで、形状測定可能な汎用計測システムとして 再生することができ、資産の有効活用にもつながります。 |
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標準で300mmまでカバーするＸＹ自動ステージシステム
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測定対象物をＸＹ方向にスキャンする「ＸＹ自動ステージシステム」
標準仕様で、ＸＹストロークを100mm、200mm、300mmタイプを
ご用意しており、微小サンプルから大型サンプルまで幅広く対応できます。
また、標準システムにて対応できない場合には、お客様のご仕様に
合わせてフルカスタムのステージシステムを構築することも可能です。
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データ取得の流れ
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① PC（専用アプリケーション）より、測定範囲・ピッチを指定します。 ② PC→専用コントローラ→XYステージシステムへの制御により 測定対象物を載せたＸＹステージが測定位置に位置決めします。 ③ 指定位置にて市販レーザ変位センサから高さデータを測定します。 ④ 市販レーザ変位センサからのアナログ出力を、ＸＹステージ位置情報と合わせてPCに取り込みます。 ⑤ ②～④を繰り返し、指定範囲の測定が完了すると終了します。 |
解析アプリでさまざまな表面形状解析が可能
| 取得した測定データは、専用のLAF-3D解析アプリケーションにより、 断面形状・表面粗さ・表面積・体積測定など、あらゆる表面形状解析が可能となります。 |
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