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高精度3次元形状測定システム LAF-3DMA |
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LAF-3DMA（市販センサ使用タイプ）
システム構成
仕様
| 型式 |
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高精度３次元形状測定システム
LAF-3DMA
（市販センサ使用タイプ） |
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＜測定部＞
| 使用可能センサ |
各種レーザ変位センサ（アナログ出力のあるもの）がご使用いただけます。 |
＜XY自動ステージ部＞
| 型式 |
100XY |
200XY |
300XY |
| 移動方向 |
XY軸 |
| 移動量 |
100mm |
200mm |
300mm |
| 試料台サイズ |
120×120mm |
210×210mm |
310×310mm |
| ガイド方式 |
高剛性リニアボールガイド |
高剛性リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード2mm |
精密ボールねじ リード5mm |
| 分解能 |
0.2μm/20分割 |
0.5μm/20分割 |
| 位置決め精度 |
4μm
（ストローク10㎜時）
18μm
（フルストローク時） |
4μm（ストローク10㎜時）、
25μm（フルストローク時）. |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μm |
| バックラッシュ |
2μm |
1μm |
| ロストモーション |
3μm |
5μm |
| 真直度（水平・垂直） |
2μm
（ストローク30㎜時）
10μm
（フルストローク時） |
2μm（ストローク30㎜時）、20μm（フルストローク時） |
| 耐荷重 |
14kg |
40kg |
| 外形寸法 |
370×390×347（H）㎜ |
455×445×436（H）㎜ |
660×655×557（H）㎜ |
| 自重 |
約19kg |
約29kg |
約76kg |
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