高精度3次元形状測定システム LAF-3DMC

LAF-3DMC（センサ搭載タイプ）

表面形状を捉えるセンサ部、測定対象物を走査する高精度ＸＹ自動ステージ部、コントローラ、PC（測定・解析アプリケーション）からなる高精度３次元形状測定システムです。

非接触・高精度にて、測定対象物の表面形状変化を捉えることができます。
粗さ計・３次元測定器などの接触式では測定が困難な対象物でも測定が可能です。測定顕微鏡や投影機などのマニュアル計測によるばらつきも解消できます。

独自のダイナミックフォーカス方式

「独自のダイナミックフォーカス方式」により測定対象物の表面状態に影響されることなくリアルタイムに対象物表面変化を捉えることが可能となりました。
簡単に説明しますと高性能対物レンズより、測定対象物にレーザ光を照射し、リアルタイムにオートフォーカス合焦点を行います。対象物表面にＺ軸の高さ変化があれば、それに追従し、オートフォーカス位置が変化します。その際のＺ軸移動を高精度リニアスケールにて読みとりＺ軸変位量として検出します。

＜測定原理＞

Ｚ測定範囲７０mm超ワイドレンジ

測定分解能０．１μm、測定範囲は７０mmの超ワイドレンジを実現しました。微細な表面変化から、大きな変化まで、これ１台で測定できます。測定は常にオートフォーカス位置の変化をリニアスケールにて読みとるため、７０mmの広範囲でも、測定レーザスポットの大きさも常に一定で安定した測定が可能となります。

高精度リニアスケール搭載

Ｚ軸移動を検知するリニアスケールには、定評あるハイデンハイン社、レニショー社製高精度リニアスケールを採用。これにより、Ｚ軸測定範囲　70mmの全領域において、測定分解能0.1μmの高精度測定を実現しております。

測定箇所を500倍カラー観察

測定時、測定ポイントを搭載のカラーＣＣＤカメラにより５００倍（１５インチモニタ基準）のカラー拡大観察像として、観察しながら測定することが可能です。微細な対象物でも、測定位置を簡単に確認でき、測定したいポイントを確実に測定することが可能です。

標準で300mmまでカバーするＸＹ自動ステージシステム

測定対象物をＸＹ方向にスキャンする「ＸＹ自動ステージシステム」標準仕様で、ＸＹストロークを100mm、200mm、300mmタイプをご用意しており、微小サンプルから大型サンプルまで幅広く対応できます。また、標準システムにて対応できない場合には、お客様のご仕様に合わせてフルカスタムのステージシステムを構築することも可能です。