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高精度3次元形状測定システム LAF-3D |
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LAF-3DMC（センサ搭載タイプ）
各部名称
システム構成
仕様
| 型式 |
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高精度３次元形状測定システム
LAF-3DMC
（センサ搭載タイプ） |
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＜測定部＞
| 測定方式 |
ダイナミックフォーカス方式 |
| 使用レーザ |
半導体レーザ 670nm、レンズ出力235mW レーザ安全クラス2 |
| レーザスポット径 |
φ3μm |
| ＡＦ再現性 |
σ=0.3μm（ガラス鏡面20回測定） |
| 対物レンズ |
Nikon ELWD50倍 WD=8.7mm |
| リニアスケール |
ハイデンハイン、レニショー社製 高精度リニアスケール搭載 |
| Ｚ軸測定範囲 |
70mm |
| Ｚ軸測定分解能 |
0.1μm |
＜ＸＹ自動ステージ部＞
| 型式 |
100XY |
200XY |
300XY |
| 移動方向 |
XY軸 |
| 移動量 |
100mm |
200mm |
300mm |
| 試料台サイズ |
120×120mm |
210×210mm |
310×310mm |
| ガイド方式 |
高剛性リニアボールガイド |
高剛性リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード2mm |
精密ボールねじ リード5mm |
| 分解能 |
0.2μm/20分割 |
0.5μm/20分割 |
| 位置決め精度 |
4μm
（ストローク10㎜時）
18μm
（フルストローク時） |
4μm（ストローク10㎜時）、25μm（フルストローク時）. |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μm |
| バックラッシュ |
2μm |
1μm |
| ロストモーション |
3μm |
5μm |
| 真直度（水平・垂直） |
2μm
（ストローク30㎜時）
10μm
（フルストローク時） |
2μm（ストローク30㎜時）、
20μm（フルストローク時） |
| 耐荷重 |
14kg |
40kg |
| 外形寸法 |
370×390×347（H）㎜ |
455×445×436（H）㎜ |
660×655×557（H）㎜ |
| 自重 |
約19kg |
約29kg |
約76kg |
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