高精度ＡＣサーボモータステージ

高精度ACサーボモータステージ

SAFA series

・リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。
・高い再現性を持つステージシステムにより大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に行なえます。

型式
SAFA series

SAFA series 仕様表＜ストローク50mm～300mmタイプ＞

型　式	SAFA-50XTI	SAFA-100XTI	SAFA-200XTI	SAFA-300XTI	SAFA-400XTI
移動方向	Ｘ軸
移動量	50mm	100mm	200mm	300mm	400mm
テーブルサイズ	180×180mm
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード10㎜
軸換算イナーシャ（kg･m⁵）	2.01×10^-5	2.21×10^-5	2.59×10^-5	2.98×10^-5	3.37×10-5
モータ	200Wサーボモータ/インクリメンタル仕様（安川電機：ΣⅢ17ビットシリアルエンコーダ搭載）131072pulse/rev
最大加速度	0.26G
分解能	0.5μm
最大速度	500㎜/sec
位置決め精度	8μm	10μm	15μm	20μm	25μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度	3μm		6μm	8μm	10μm
平行度Ａ	8μm		12μm	20μm	25μm
耐荷重	50kg
自重	8.5kg	9kg	10.5kg	12kg	13.5kg
主要材質／外観	アルミ合金／黒アルマイト処理
価格（税抜き）	￥410,000	￥430,000	￥450,000	￥￥490,000	￥540,000

全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。また、ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。
※ブレーキ付モータ時は上記価格から30,000円UP必要になります。
※XY軸、Ｚ軸ステージにつきましては、別途お問い合わせください。

SAFA series 仕様表＜ストローク500mm～800mmタイプ＞

型　式	SAFA-500XTI	SAFA-600XTI	SAFA-700XTI	SAFA-800XTI
移動方向	Ｘ軸
移動量	500mm	600mm	700mm	800mm
テーブルサイズ	180×180㎜
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード10㎜
軸換算イナーシャ（kg･m²）	3.76×10^-5	4.14×10^-5	4.53×10^-5	4.92×10^-5
モータ	200Wサーボモータ/インクリメンタル仕様（安川電機：ΣⅢ17ビットシリアルエンコーダ搭載）131072pulse/rev
最大加速度	0.26G
分解能	0.5μm
最大速度	500㎜/sec
位置決め精度	30μm	40μm	50μm	60μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度	13μm	15μm	18μm	20μm
平行度Ａ	25μm	30μm		35μm
耐荷重	50kg
自重	15kg	16.5kg	18kg	19.5kg
主要材質／外観	アルミ合金／黒アルマイト処理
価格（税抜き）	￥590,000	￥620,000	￥650,000	￥680,000

型式の見方

SAFA-100					X		T	I	B
ストローク量					軸		ねじリード	モータ仕様	ブレーキ
50～800mm					Ｘ軸		T：10mm：200W Ｆ：5mm：200W	Ｉ：インクリメンタル A：アブソリュート	標準：なし B：ブレーキ有り