 |
高精度ＡＣサーボモータステージ
|
 |
高精度ACサーボモータステージ
SAFA series ＜フルクローズドループタイプ＞
・高精度クロスローラガイド式ＳＡＦＫシリーズに超高精度ハイデンハイン社製リニアスケールを搭載
・フルクローズドループ制御により全ストロークにおいて高精度な位置決めが可能です。.
|
| 型式 |
 |
| SAFK series （フルクローズドループタイプ） |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
 |
SAFK series＜フルクローズドループタイプ＞
仕様表 ＜ストローク50mm～300mmタイプ＞
| 型 式 |
SAFK-50XFI-H |
SAFK-100XFI-H |
SAFK-200XFI-H |
SAFK-300XFI-H |
| 移動方向 |
Ｘ軸 |
| 移動量 |
50mm |
100mm |
200mm |
300mm |
| テーブルサイズ |
170×170㎜ |
210×200㎜ |
330×200㎜ |
450×200㎜ |
| ガイド方式 |
クロスローラガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード5㎜ |
| 軸換算イナーシャ（kg･m2） |
1.28×10-5 |
1.62×10-5 |
2.33×10-5 |
3.05×10-5 |
| モータ |
100Wサーボモータ/インクリメンタル仕様
（安川電機：ΣⅢ17ビットシリアルエンコーダ搭載）131072pulse/rev |
| 最大加速度 |
0.17G |
| 分解能 |
0.25μm |
| 最大速度 |
250㎜/sec |
| 位置決め精度 |
2μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±0.2μm |
| バックラッシュ |
0.5μm |
| ロストモーション |
1μm |
2μm |
| 真直度 |
2μm |
2μm |
5μm |
7μm |
| 平行度A |
5μm |
5μm |
7μm |
10μm |
| 耐荷重 |
60kg |
| 自重 |
11.5kg |
15.5kg |
23kg |
33kg |
| 主要材質／外観 |
鋼／レイデント処理 |
| 価格（税抜き） |
お問い合わせ下さい。 |
全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。また、ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。
※ブレーキ付モータ時は上記価格から30,000円UP必要になります。
※XY軸、Ｚ軸ステージにつきましては、別途お問い合わせください。
|
型式の見方
| SAFA-100 |
X |
T |
I |
B |
H |
| ストローク量 |
軸 |
ねじリード |
モータ仕様 |
ブレーキ |
リニアスケール |
| 50～800mm |
Ｘ軸 |
T：10mm：200W
Ｆ：5mm：200W |
Ｉ：インクリメンタル
A：アブソリュート |
標準：なし
B：ブレーキ有り |
H：ハイデンハイン社製
R：レニショー社製 |
|
