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高精度シャフトモータステージ |
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高精度シャフトモータステージ
SF series
・シャフトモータステージを用いた非接触駆動方式のステージシステムです。
・非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。
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SF series 仕様表 ＜ストローク50mm～300mmタイプ＞
| 型 式 |
PA180B-50X-SF |
PA180B-100X-SF |
PA180B-200X-SF |
PA180B-300X-SF |
| 移動方向 |
Ｘ軸 |
| 移動量 |
50mm |
100mm |
200mm |
300mm |
| テーブルサイズ |
180×180㎜ |
| ガイド方式 |
リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
シャフトモータ |
| モータ |
ジイエムシーヒルストン社製 シャフトモータ |
| 最小分解能 |
0.1μm |
| 最大速度 |
200㎜/sec |
| 位置決め精度 |
4μm |
5μm |
7μm |
8μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±0.5μm |
| ロストモーション |
0.5μm |
| 真直度 |
3μm |
6μm |
8μm |
| 平行度A |
8μm |
12μm |
20μm |
| 耐荷重 |
10kg |
12kg |
| 自重 |
9kg |
10kg |
12kg |
14kg |
| 主要材質／外観 |
アルミ合金／黒アルマイト処理 |
| 価格（税抜き） |
お問い合わせ下さい。 |
全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。また、ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。
※ブレーキ付モータ時は上記価格から30,000円UP必要になります。
※XY軸、Ｚ軸ステージにつきましては、別途お問い合わせください。
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SF series 仕様表 ＜ストローク400mm～800mmタイプ＞
| 型 式 |
PA180B-400X-SF |
PA180B-500X-SF |
PA180B-800X-SF |
| 移動方向 |
Ｘ軸 |
| 移動量 |
400mm |
500mm |
800mm |
| テーブルサイズ |
180×180㎜ |
| ガイド方式 |
リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
シャフトモータ |
| モータ |
ジイエムシーヒルストン社製 シャフトモータ |
| 最小分解能 |
0.1μm |
| 最大速度 |
200㎜/sec |
| 位置決め精度 |
10μm |
12μm |
17μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±0.5μm |
| ロストモーション |
0.5μm |
| 真直度 |
10μm |
13μm |
20μm |
| 平行度Ａ |
25μm |
35μm |
| 耐荷重 |
15kg |
20kg |
| 自重 |
16kg |
18kg |
24kg |
| 主要材質／外観 |
アルミ合金／黒アルマイト処理 |
| 価格（税抜き） |
お問い合わせ下さい。 |
全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。また、ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。
※ブレーキ付モータ時は上記価格から30,000円UP必要になります。
※XY軸、Ｚ軸ステージにつきましては、別途お問い合わせください。
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