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ステッピングモータステージ（ＸＹステージ） |
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高精度ステッピングモータ ＸＹステージ
PT series
・顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に最適な、高精度・超薄型タイプです。
・各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。
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PT series 仕様表 ＜ストローク21mm～300mmタイプ＞
| 型 式 |
PT100C-20XY |
PT100C-50XY |
PT140C-100XY |
PT250C-200XY |
PT350C-300XY |
| 移動方向 |
ＸＹ軸 |
| 移動量 |
20mm×20㎜ |
50mm×50㎜ |
100mm×100㎜ |
200mm×200㎜ |
300mm×300㎜ |
| テーブルサイズ |
100mm×100㎜ |
100mm×100㎜ |
140mm×140㎜ |
252mm×230㎜ |
350mm×350㎜ |
| ガイド方式 |
クロスローラガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード1㎜ |
| 軸換算イナーシャ（kg･m2） |
X軸8.99×10-7
Y軸9.33×10-7 |
X軸9.29×10-7
Y軸9.62×10-7 |
X軸4.48×10-7
Y軸4.15×10-7 |
X軸1.24×10-6
Y軸1.35×10-6 |
X軸3.50×10-6
Y軸3.71×10-6 |
| モータ |
0.35A/相 5相ステッピングモータ
（多摩川精機：TS3664N11E1 相当品）
5線ペンタゴン結線、
ホールディングトルク：0.017N・ｍ、
ロータイナーシャ：4.2ｇ・ｃｍ2 |
0.35A/相 5相ステッピングモータ
（多摩川精機：TS3667N11E1 相当品）
5線ペンタゴン結線、
ホールディングトルク：0.13N・ｍ、
ロータイナーシャ：35ｇ・ｃｍ2 |
| 分解能 |
2μｍ（フルステップ時）、1μm（ハーフステップ時） |
| 最大速度 |
10㎜/sec（ハーフステップ時10000pps） |
| 位置決め精度 |
8μm |
10μm |
40μm |
50μm |
75μm |
| 位置決め精度（1/10ストローク） |
- |
- |
- |
10μm |
20μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μm |
±2μm |
| バックラッシュ |
1μm |
| ロストモーション |
3μm |
| 真直度（水平・垂直） |
5μm |
15μm |
垂直：30μm 水平：15μm |
垂直：40μm 水平：15μm |
| 平行度A |
X：8μm、Y：8μm |
X：10μm、Y：10μm |
X：20μm、Y：20μm |
X：40μm、Y：25μm |
X：30μm、Y：15μm |
| ＸＹ直角度 |
5μm |
10μm |
15μm |
15μm |
20μm |
| 耐荷重 |
5kg |
10kg |
| 自重 |
2.5kg |
3.7kg |
8kg |
23kg |
| 主要材質／外観 |
アルミ合金／黒アルマイト処理 |
| 価格（税抜き） |
￥480,000 |
￥590,000 |
￥890,000 |
￥1,100,000 |
￥1,480,000 |
全商品検査成績書付 COMS自動ステージは業界標準のHP5529レーザ測長器による試験結果を無償で製品に添付しています。実際の製品の精度をご確認いただいた上で安心してご利用いただけます。また、ご検討時の製品比較には各機種の代表検査データのご提供も可能です。.
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