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高精度3次元形状測定システム LAF-3Dシリーズ <製造終了>

高精度3次元形状測定システム LAF-3Dシリーズ
コムス独自の高精度位置決め技術を応用した
「ダイナミックフォーカス方式」の高精度レーザ変位センサを
搭載した3次元形状測定(三次元形状測定)システムです。

高精度3次元形状測定システム LAF-3Dシリーズ(センサ搭載タイプ)

高速・高精度にあらゆる測定対象物の形状測定をローコストで実現したい。
コムス独自の高精度位置決め技術を応用した「ダイナミックフォーカス方式」の高精度レーザ変位センサを搭載した
非接触・高精度にて微細な表面形状を計測する3次元形状測定(三次元形状測定)システムです。

コムス独自のモーションコントロール技術と、アプリケーション応用技術により 高精度に測定対象物表面の断面形状・表面粗さ・表面積・
体積など あらゆる表面解析が可能となります。

オプションソフトによるリアルな3Dグラフィックによる3次元表示も可能です。 非接触での形状測定、表面粗さ測定、3D測定等の3次元測定(三次元測定)ができ、 接触式の表面粗さ計や、3次元測定器(三次元測定 器)では測定できない対象物でも 正確に非接触形状測定が
可能です。


特長

ダイナミックフォーカス方式によるリアルタイムAFを実現

高精度3次元形状測定システム LAF-3D 
測定原理 ダイナミックフォーカス方式
ダイナミックフォーカス方式によるリアルタイムAF

「独自のダイナミックフォーカス方式」により測定対象物の表面状態に影響されることなくリアルタイムに対象物表面変化を捉えることが可能となりました。

測定原理

高性能対物レンズより、測定対象物にレーザ光を照射し、リアルタイムにオートフォーカス合焦点を行います。
対象物表面にZ軸の高さ変化があれば、それに追従し、
オートフォーカス位置が変化します。
その際のZ軸移動を高精度リニアスケールにて読みとり
Z軸変位量として検出します。


Z軸測定範囲70mmの超ワイドレンジ、Z軸測定分解能0.1μmの高分解能

高精度3次元形状測定システム LAF-3D
Z軸測定範囲70mmの超ワイドレンジ、
分解能0.1μmの高分解能
70mmの超ワイドレンジで、大きな凹凸も高精度測定

測定分解能0.1μm、測定範囲は70mmの超ワイドレンジを実現しました。
微細な表面変化から、大きな変化まで、これ1台 で測定できます。
測定は常にオートフォーカス位置の変化をリニアスケールにて読みとるため、
70mmの広範囲でも、測定レー ザスポットの大きさも常に一定で 安定した測定が
可能となります。


高精度リニアスケール搭載

高精度3次元形状測定システム LAF-3D 測定原理
高精度リニアスケール採用
ハイデンハイン社、レニショー社製 高精度リニアスケール採用

Z軸移動を検知するリニアスケールには、定評あるハイデンハイン社、レニショー社製
高精度リニアスケールを搭載しています。
これにより、Z軸測定範囲70mmの全領域において、測定分解能0.1μmの高精度測定を実現しております。


測定ポイントを500倍カラー拡大画像で確認しながら測定可能

高精度3次元形状測定システム LAF-3D
拡大観察像
測定ポイントを500倍カラー拡大画像で確認しながら
測定可能
カラーCCDカメラ搭載で測定ポイントを500倍拡大観察

カラーCCDカメラを搭載し、測定時に測定ポイントを約500倍のカラー拡大画像として、観察しながら測定することが可能です。

測定したい部分がピンポイントで確認できる

微細な測定対象物でも、測定位置を簡単に確認することができ、測定したいポイントを確実に測定することが可能です。


XY測定範囲は標準タイプで□300mmワイドエリア対応

高精度3次元形状測定システム XY自動ステージシステム
標準タイプで□100mm、200mm、300mmをご用意
□100mm~300mmの3タイプをご用意

測定対象物を移動させるXYステージは、
標準タイプで□100mm、200mm、300mmをご用意しております。
測定対象物の大きさ・形状等に合わせ、最適なXYステージを選択頂くことができます。

ご要望に応じステージカスタマイズ可能

標準ステージで測定が難しい場合には、ご用途に応じてステージカスタマイズも可能です。



ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。