ダイナミックフォーカス方式によるリアルタイムAF

「独自のダイナミックフォーカス方式」により測定対象物の表面状態に影響されることなくリアルタイムに対象物表面変化を捉えることが可能となりました。

測定原理

高性能対物レンズより、測定対象物にレーザ光を照射し、リアルタイムにオートフォーカス合焦点を行います。
対象物表面にＺ軸の高さ変化があれば、それに追従し、オートフォーカス位置が変化します。
その際のＺ軸移動を高精度リニアスケールにて読みとりＺ軸変位量として検出します。

70mmの超ワイドレンジで、大きな凹凸も高精度測定

測定分解能０．１μm、測定範囲は７０mmの超ワイドレンジを実現しました。
微細な表面変化から、大きな変化まで、これ１台 で測定できます。
測定は常にオートフォーカス位置の変化をリニアスケールにて読みとるため、 ７０mmの広範囲でも、測定レー ザスポットの大きさも常に一定で 安定した測定が可能となります。

ハイデンハイン社、レニショー社製　高精度リニアスケール採用

Ｚ軸移動を検知するリニアスケールには、定評あるハイデンハイン社、レニショー社製高精度リニアスケールを搭載しています。これにより、Ｚ軸測定範囲７０mmの全領域において、測定分解能０．１μｍの高精度測定を実現しております。

カラーCCDカメラ搭載で測定ポイントを500倍拡大観察

カラーＣＣＤカメラを搭載し、測定時に測定ポイントを約５００倍のカラー拡大画像として、観察しながら測定することが可能です。

測定したい部分がピンポイントで確認できる

微細な測定対象物でも、測定位置を簡単に確認することができ、測定したいポイントを確実に測定することが可能です。

□100mm～300mmの3タイプをご用意

測定対象物を移動させるＸＹステージは、
標準タイプで□100mm、200mm、300mmをご用意しております。
測定対象物の大きさ・形状等に合わせ、最適なＸＹステージを選択頂くことができます。

ご要望に応じステージカスタマイズ可能

標準ステージで測定が難しい場合には、ご用途に応じてステージカスタマイズも可能です。