ホーム > 製品一覧 > 高精度３次元形状測定システム > LAF-3Dシリーズ（センサ搭載タイプ） > 仕様
高精度3次元形状測定システム LAF-3Dシリーズ
LAF-3D（センサ搭載タイプ）
高速・高精度にあらゆる測定対象物の形状測定をローコストで実現したい。 非接触・高精度にて微細な表面形状を計測する３次元形状測定（三次元形状測定）システムです。
コムス独自のモーションコントロール技術と、アプリケーション応用技術により 高精度に、測定対象物表面の断面形状・表面粗さ・表面積・体積など あらゆる表面解析が可能となります。 オプションソフトによるリアルな３Ｄグラフィックによる３次元表示も可能です。
LAF-3D（センサ搭載タイプ）仕様表
測定部
| 測定方式 | ダイナミックフォーカス方式 |
|---|---|
| 使用レーザ | 半導体レーザ 670nm、レンズ出力235mW レーザ安全クラス2 |
| レーザスポット径 | φ3μm |
| ＡＦ再現性 | σ=0.3μm（ガラス鏡面20回測定） |
| 対物レンズ | Nikon ELWD50倍 WD=8.7mm |
| リニアスケール | ハイデンハイン、レニショー社製 高精度リニアスケール搭載 |
| Ｚ軸測定範囲 | 70mm |
| Ｚ軸測定分解能 | 0.1μm |
ＸＹ自動ステージ部
| 型式 | 100XY | 200XY | 300XY |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100mm | 200mm | 300mm |
| 試料台サイズ | 120×120mm | 210×210mm | 310×310mm |
| ガイド方式 | 高剛性リニアボールガイド | 高剛性リニアスライドガイド | |
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード2mm | 精密ボールねじ リード5mm | |
| 分解能 | 0.2μm/20分割 | 0.5μm/20分割 | |
| Ｚ軸測定分解能 | 4μm（ストローク10㎜時） 18μm（フルストローク時） |
4μm（ストローク10㎜時）、25μm（フルストローク時） | |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ||
| バックラッシュ | 2μm | 1μm | |
| ロストモーション | 3μm | 5μm | |
| 真直度（水平・垂直） | 2μm（ストローク30㎜時） 10μm（フルストローク時） |
2μm（ストローク30㎜時）、20μm（フルストローク時） | |
| 耐荷重 | 14kg | 40kg | |
| 外形寸法 | 370×390×347（H）㎜ | 455×445×436（H）㎜ | 660×655×557（H）㎜ |
| 重量 | 約19kg | 約29kg | 約76kg |
ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。