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| ①Z軸駆動ステージ | このZ軸移動量がZ軸測定範囲となり、ストロークはワイドレンジの70mmです。 |
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| ②センサユニット部 | 半導体レーザによる独自のダイナミックフォーカスにより、対象物の表面位置をとらえる センサ部となります。 |
| ③カラーCCDユニット部 | 測定ポイントを約500倍のカラー拡大像としてモニタすることができます。 |
| ④高精度リニアスケール部 | 高精度で、信頼性の高いハイデンハイン、レニショー社製のリニアスケールを 搭載しています。 |
| ⑤高性能対物レンズ | Nikon ELWD50倍 WD=8.7mmの長作動レンズを搭載しています。 |
| ⑥高輝度LED照明 | カラーCCDによる拡大観察用のLED照明です。自由にアングルを変更できます。 |
| ⑦高精度自動ステージ(位置決めステージ)部 | XYストローク100×100mm、200×200mm、300×300mmの3タイプより選択できます。 |
高精度3次元形状測定システム LAF-3D![]() |
高精度3次元形状測定システム LAF-3D オプションソフト![]() |
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