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高精度3次元形状測定システム MAP-3Dシリーズ

MAP-3D（市販センサ使用タイプ）仕様表

ＸＹ自動ステージ部

型式	MAP-3D　100XY	MAP-3D　200XY	MAP-3D　300XY
移動方向	XY軸
移動量	100mm	200mm	300mm
試料台サイズ	120×120mm	210×210mm	310×310mm
ガイド方式	高剛性リニアボールガイド		高剛性リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード2mm		精密ボールねじ　リード5mm
最小移動分解能	0.1μm/40分割 （初期値0.2μm/20分割）		0.1μm/100分割 （初期値0.5μm/20分割）
位置決め精度	4μm（ストローク10㎜時） 18μm（フルストローク時）	4μm（ストローク10㎜時）、25μm（フルストローク時）
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	2μm		1μm
ロストモーション	3μm		5μm
真直度（水平・垂直）	2μm（ストローク30㎜時） 10μm（フルストローク時）	2μm（ストローク30㎜時）、20μm（フルストローク時）
耐荷重	14kg		40kg
外形寸法	370×390×347（H）㎜	455×445×436（H）㎜	660×655×557（H）㎜
重量	約15kg	約25kg	約72kg

ステージ制御部

型式	ポジションコントローラ　CP-500
制御軸数	2軸
インタフェイス	USB　1ポート
電源/最大消費電力	AC100V　±10%　50/60Hz /250VA
寸法/重量	148×251×83(H)mm（突起物除く）　/　2.4kg

アナログデータ収集部

型式	アナログコントローラ　CA-800
入力チャンネル数	2cH
入力電圧範囲	±0.25V、±1V、±5V、±10V　選択式
変換分解能	16bit
変換レート	50kHz（内部メモリに保存時）
変換精度	±0.15%　of　F.S
インタフェイス	USB　1ポート
電源/最大消費電力	USBバスパワー供給（DC24V外部電源使用可）/　200mA
寸法/重量	148×158×22(H)mm（突起部除く）　/　0.6kg

ソフトウェア部

型式	MAP-3D
対応機器	当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、 PC（対応OS　WindowsXP　日本語版）
基本機能	XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集（2cH同時収集可）を 自動制御、形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析
計測設定	駆動軸、XY軸測定範囲、ピッチ、駆動速度/変位データ収集時のフィルタ/自動ステージ部のマニュアル駆動操作
機器設定	駆動詳細設定（駆動速度、通信、表示）、AD変換詳細設定（収集データch数、 電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点）
解析機能	データ情報表示（データ点数、測定ピッチ、最大最小値）、3Dグラフ表示変更（鳥瞰・平面、等高線、凡例、カラーパレット）、断面計測（任意断面の2Dグラフ表示、座標、距離、高さ、角度、最大最小値、粗さ計算、半径、面積、他）、体積容積計算、平坦度計算、 データ補正（傾斜補正、レベルカット、ダークアウト補正、最小値補正、ノイズカット）
保存・出力	計測設定内容の保存、測定データの保存（emdファイル、csvファイル、Ｅｘｃｅｌシートへ貼付、印刷）、画像出力（JPEG、BMP）、Ｅｘｃｅｌ転送（付属ソフトＥｘｃｅｌコンバータにより測定数値データ転送）
付属ソフトウェア	Ｅｘｃｅｌコンバータ（Ｅｘｃｅｌへデータ転送）、データリフォーマ（測定データ操作）、 DDF-3D（データ比較）
オプションソフトウェア	SMT-S01（粗さ解析ツール）、SFF-3D（３次元粗さ解析）、MAP-3DM（非接触高速マルチ 形状測定）、ECC-S（３次元CADコンバータ）