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非接触厚み測定システム
非接触厚み測定システム
レーザ変位センサを２台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ス
テージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可
能です。
接触式厚み測定器では、測定できない（接触子を対象物に接触させたくない）半導体ウエハ、液晶ガラス、柔らかい
対象物などの測定に最適です。
非接触厚み測定システム仕様表
自動ステージシステム部
| 型式 |
TAP-2H-50XY |
TAP-2H-100XY |
TAP-2H-200XY |
TAP-2H-300XY |
| 移動方向 |
XY軸 |
| 移動量 |
50×50㎜ |
100×100㎜ |
200×200㎜ |
300×300㎜ |
| テーブルサイズ |
150×80㎜ |
| ガイド方式 |
リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード5㎜ |
| モータ |
0.75A/相 5相ステッピングモータ |
| 移動分解能 |
0.5μm （分割数：1/20設定時） |
| 位置決め精度 |
10μm |
15μm |
25μm |
30μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μm |
| バックラッシュ |
1μm |
| ロストモーション |
5μm |
| 真直度（水平・垂直） |
8μm |
10μm |
10μm |
10μm |
| 平行度Ａ |
15μm |
15μm |
20μm |
20μm |
| 最大移動速度 |
30㎜/sec |
| 耐荷重 |
15kg |
| 自重 |
約41kg |
約45kg |
約50kg |
約60kg |
レーザ変位計部
| 測定分解能 |
0.01μm*1 |
| 繰り返し精度 |
0.01μm*1 |
| 測定基準距離 |
10㎜*1 |
| 測定範囲 |
±1㎜*1 |
| センサヘッド位置調整 |
ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ（上側センサヘッド） |
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
対応コントローラ
| ポジションコントローラ |
CP-500 / CP-310 |
| 高速アナログコントローラ |
CA-800 |
対応アプリケーションソフト
| ポジションコントローラ |
Excel対応 ポジション計測ソフト E-Measure |
価格
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