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高精度シャフトモータステージ SFシリーズ
SF series
シャフトモータを用いたダイレクトドライブ方式の
リニアサーボステージです。
非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。
| axis |
guide |
controller |
| X 軸 |
リニアスライドガイド
シャフトモータ |
 |
SF series X軸ステージ＜ストローク50mm～800mmタイプ＞ 仕様表
仕様1 ＜ストローク 50mm～300mm＞
| 型式 |
SF180S-50X25D |
SF180S-100X25D |
SF180S-200X25D |
SF180S-300X25D |
| 移動方向 |
X軸 |
| 移動量 |
50㎜ |
100㎜ |
200㎜ |
300㎜ |
| テーブルサイズ |
180×180㎜ |
| ガイド方式 |
リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
シャフトモータ |
| モータ |
ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ |
| 搭載センサ |
リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ |
| 自重 |
9kg |
10kg |
12kg |
14kg |
| 主要材質／外観 |
アルミ合金／黒アルマイト処理／ケーブルベア付 |
| 分解能 |
0.1μm（レニショー製リニアスケール搭載） |
| 最大速度 |
200㎜/sec |
| 耐荷重 |
10kg |
12kg |
| 位置決め精度 |
4μm |
5μm |
7μm |
8μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±0.5μm |
| バックラッシュ |
0 |
| ロストモーション |
0.5μm |
| 真直度（水平・垂直） |
3μm |
6μm |
8μm |
| 平行度Ａ |
8μm |
12μm |
20μm |
仕様2 ＜ストローク 400mm～800mm＞
| 型式 |
SF180S-400X25D |
SF180S-500X25D |
SF180S-800X25D |
| 移動方向 |
X軸 |
| 移動量 |
400㎜ |
500㎜ |
800㎜ |
| テーブルサイズ |
180×180㎜ |
| ガイド方式 |
リニアスライドガイド |
| 送り方式 |
シャフトモータ |
| モータ |
ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ |
| 搭載センサ |
リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ |
| 自重 |
16kg |
18kg |
24kg |
| 主要材質／外観 |
アルミ合金／黒アルマイト処理／ケーブルベア付 |
| 分解能 |
0.1μm（レニショー製リニアスケール搭載） |
| 最大速度 |
200㎜/sec |
| 耐荷重 |
15kg |
15kg |
20kg |
| 位置決め精度 |
10μm |
12μm |
17μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±0.5μm |
| バックラッシュ |
0μm |
| ロストモーション |
0.5μm |
| 真直度（水平・垂直） |
10μm |
13μm |
20μm |
| 平行度Ａ |
25μm |
25μm |
35μm |
ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。
