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高精度自動ステージ(位置決めステージ)

高精度ステッピングモータステージ POSICONシリーズ
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SF series

高精度シャフトモータステージ 
SF/SSシリーズ 
X軸ステージ SF series

繰返し位置決め精度 ±0.0005mm以下

シャフトモータを用いたダイレクトドライブ方式のリニアサーボステージです。非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。

axis guide controller
X 軸 リニアスライドガイド
シャフトモータ
コントローラ
ケーブル対応表
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※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。

SF series X軸ステージ<ストローク50mm~800mmタイプ> 仕様表

仕様1 <ストローク 50mm~300mm>
型式 SF180S-50X25D SF180S-100X25D SF180S-200X25D SF180S-300X25D
移動方向 X軸
移動量 50㎜ 100㎜ 200㎜ 300㎜
テーブルサイズ 180×180㎜
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 シャフトモータ
モータ ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ
搭載センサ リミット(CW/CCW)センサ、原点近接センサ
自重 9kg 10kg 12kg 14kg
主要材質/外観 アルミ合金/黒アルマイト処理/ケーブルベア付
分解能 0.1μm(レニショー製リニアスケール搭載)
最大速度 200㎜/sec
耐荷重 10kg 12kg
位置決め精度 4μm 5μm 7μm 8μm
繰返し位置決め精度 ±0.5μm
バックラッシュ 0
ロストモーション 0.5μm
真直度(水平・垂直)  3μm  6μm  8μm
平行度A  8μm 12μm 20μm
価格(税抜き) お問い合わせ下さい
仕様2 <ストローク 400mm~800mm>
型式 SF180S-400X25D SF180S-500X25D SF180S-800X25D
移動方向 X軸
移動量 400㎜ 500㎜ 800㎜
テーブルサイズ 180×180㎜
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 シャフトモータ
モータ ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ
搭載センサ リミット(CW/CCW)センサ、原点近接センサ
自重 16kg 18kg 24kg
主要材質/外観 アルミ合金/黒アルマイト処理/ケーブルベア付
分解能 0.1μm(レニショー製リニアスケール搭載)
最大速度 200㎜/sec
耐荷重 15kg 15kg 20kg
位置決め精度 10μm 12μm 17μm
繰返し位置決め精度 ±0.5μm
バックラッシュ 0μm
ロストモーション 0.5μm
真直度(水平・垂直) 10μm 13μm 20μm
平行度A 25μm 25μm 35μm
価格(税抜き) お問い合わせ下さい

SF/SSシリーズ コネクタ接続

高精度シャフトモータステージ  <SF/SSシリーズ コネクタ>
ステージ側コネクタ A B
D-sub15pinメス端子 D-sub9pinメス端子

高精度シャフトモータステージ  <SF/SSシリーズ 結線仕様 コネクタ A >
ピンNO 結線仕様
1 モータ(U相)
2 モータ(V相)
3 モータ(W相)
4 E
5 -
6 GND2(PORG1電源入力)
7 -
8 +24V(PORG1電源入力)
9 原点近接(PORG1)センサ出力
10 -
11 CCWリミット(OT1)センサ出力
12 CWリミット(OT2)センサ出力
13 GND1(OT1、OT2電源入力)
14 -
15 +24V(OT1、OT2電源入力)
フード シールド
高精度シャフトモータステージ  <SF/SSシリーズ 結線仕様 コネクタ B >
ピンNO 結線仕様
1 0V(EPエンコーダ電源入力)
2 A+ 出力
3 Z+ 出力
4 B+ 出力
5 +5V(EPエンコーダ電源入力)
6 A- 出力
7 Z- 出力
8 B- 出力
9 シールド
フード シールド

SF/SSシリーズ コントローラ・ケーブル・コネクタ対応表

対応コントローラ
ドライバ型式
ケーブル型式 ステージ側
コネクタ型式
コントローラ・ドライバ側
コネクタ型式
日立産機システム製
サーボパック
(ADA3シリーズ)CP-700
ユーザーコントローラ
動力・リミットセンサ用ケーブル
PSSF-R20X-HPL
D-sub 15P 切断処理
エンコーダ用ケーブル
PSSF-R20-HE
 D-sub 9P  54599-1019
MOLEX

この機種に対応する製品は、こちらからチェックできます。

CP-700
動力・リミットセンサ用ケーブル
PSSF-R20X-HPL
エンコーダ用ケーブル
PSSF-R20-HE

SF/SSシリーズ一覧