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高精度シャフトモータステージ SSシリーズ
SS series
シリンダ形リニアモータを用いたダイレクトドライブ方式の
リニアサーボステージです。
非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。
| axis | guide | controller |
|---|---|---|
| X 軸 | リニアスライドガイド シリンダ形リニアモータ |
 |
SS series X軸ステージ＜ストローク100mm～400mmタイプ＞ 仕様表
仕様
| 型式 | SS80S-100X25D | SS80S-200X25D | SS80S-300X25D | SS80S-400X25D |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 100㎜ | 200㎜ | 300㎜ | 400㎜ |
| テーブルサイズ | 150×80㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | シリンダ形リニアモータ | |||
| モータ | 安川電機製 SGLCW型相当品 | |||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | |||
| 自重 | 8.5kg | 10kg | 11.5kg | 13kg |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理 / ケーブルベア付 | |||
| 分解能 | 0.1μm（レニショー製リニアスケール搭載） |
|---|---|
| 最大速度 | 1000㎜/sec |
| 耐荷重 | 10kg |
| 位置決め精度 | 8μm | 10μm | 15μm | 20μm |
|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.5μm | |||
| バックラッシュ | 0 | |||
| ロストモーション | 0.5μm | |||
| 真直度（水平・垂直） | 8μm | 10μm | 15μm | 20μm |
| 平行度Ａ | 15μm | 25μm | 40μm | 50μm |
| 価格（税抜き） | お問い合わせ下さい |
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