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自動ステージ
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回転
スイベル
駆動方式
ステッピングモータ
ＡＣサーボモータ
シャフトモータ
ストローク
100mm以下
200〜300mm
400mm以上
ガイド方式
クロスローラガイド
リニアボールガイド
リニアスライドガイド
位置決め精度
±5μm以下
±10μm以下
±10μm以上
平行度
±5μm以下
±10μm以下
±10μm以上
特長
スペース重視
耐荷重重視
スピード重視
