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高精度自動ステージ(位置決めステージ)

高精度シャフトモータステージ 
SFシリーズ 
ボールねじ駆動に変わる
全く新しいシャフトモータ搭載ステージ誕生
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高精度シャフトモータステージ 選定ガイド

高精度シャフトモータステージの選定ガイドです。各機種の代表的な仕様・特長をご紹介します。
ガイド方式・移動軸・ストローク・位置決め精度・耐荷重など、各機種より最適なシャフトモータステージを選択いただけます。

こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。

高精度シャフトモータステージ 主要項目比較

高精度シャフトモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。

SF series

性能チャートグラフ

特長

シャフトモータを用いたダイレクトドライブ方式のリニアサーボステージです。非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。

(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
進直度 耐荷重
Xステージ SF180S-50X25D 50mm ±0.5μm 3μm 10kg
Xステージ SF180S-100X25D 100mm
Xステージ SF180S-200X25D 200mm 6μm 12kg
Xステージ SF180S-300X25D 300mm 8μm
Xステージ SF180S-400X25D 400mm 10μm 15kg
Xステージ SF180S-500X25D 500mm 13μm
Xステージ SF180S-800X25D 800mm 20μm 20kg


SS series

性能チャートグラフ

特長

シリンダ形リニアモータを用いたダイレクトドライブ方式のリニアサーボステージです。非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。

(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
進直度 耐荷重
Xステージ SS80S-100X25D 100mm ±0.5μm 8μm 10kg
Xステージ SS80S-200X25D 200mm 10μm
Xステージ SS80S-300X25D 300mm 15μm
Xステージ SS80S-400X25D 400mm 20μm