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高精度自動ステージ(位置決めステージ)

高精度ステッピングモータステージ POSICONシリーズ
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高精度ステッピングモータステージ 選定ガイド

高精度ステッピングモータステージでは、精密研削ねじ・精密ボールねじ駆動によるXステージ、XYステージ、Zステージ、回転ステージ、スイベルステージを各種 取りそろえております。 ガイド方式・移動軸・ストローク・位置決め精度・耐荷重など、幅広いバリエーションの各機種より最適なステッピングモータステージを選択いただけます。

こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。
ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。


高精度ステッピングモータステージ 主要項目比較

高精度ステッピングモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。

* XYステージ、Zステージの各精度項目は、Xステージ単体の精度を記載したものです。(PT series を除く)


PM series

性能チャートグラフ

特長
一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペースタイプです。U字型アウターレール構造+4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。
(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
真直度 耐荷重
Xステージ PM40B-25X 25mm ±2μm 3μm 10kg
Xステージ PM80B-50X 50㎜ 3μm 20kg
Xステージ PM80B-100X 100mm 5μm 20kg
Xステージ PM80B-200X 200㎜ 8μm 20kg
XYステージ PM40B-25XY 25×25㎜ 3μm 5kg
XYステージ PM80B-50XY 50×50mm 3μm 15kg
XYステージ PM80B-100XY 100×100㎜ 5μm 15kg
XYステージ PM80B-200XY 200×200㎜ 8μm 15kg
Zステージ PM40B-25Z 25㎜ 3μm 2kg
Zステージ PM80B-50Z 50㎜ 3μm 3kg
Zステージ PM80B-100Z 100mm 5μm 3kg
Zステージ PM80B-200Z 200mm 8μm 3kg

PA series

性能チャートグラフ

特長

リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。ねじリード5㎜の精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・
高速移動が可能です。

(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
真直度 耐荷重
Xステージ PA180S-50X 50mm ±1μm 3μm 50kg
Xステージ PA180S-100X 100mm 3μm
Xステージ PA180S-200X 200mm 5μm
Xステージ PA180S-300X 300mm 8μm
Xステージ PA180S-400X 400mm 10μm
Xステージ PA180S-500X 500mm 13μm
Xステージ PA180S-800X 800mm 20μm
XYステージ PA180S-50XY 50×50mm 3μm 40kg
XYステージ PA180S-100XY 100×100mm 3μm
XYステージ PA180S-200XY 200×200mm 5μm
XYステージ PA180S-300XY 300×300mm 8μm
XYステージ PA180S-400XY 400×400mm 10μm
Zステージ PA180S-50Z 50mm 3μm 11kg
Zステージ PA180S-100Z 100mm 3μm
Zステージ PA180S-200Z 200mm 5μm
Zステージ PA180S-300Z 300mm 8μm

PK series

性能チャートグラフ

特長

クロスローラとV溝によるガイドシステムを用いた高精度タイプです。高精度・高剛性・低摩擦によりあらゆる高精度用途に対応できます。

(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
真直度 耐荷重
Xステージ PK70C-20X 20mm ±0.5μm 1μm 10kg
Xステージ PK100C-25X 25mm 20kg
Xステージ PK120C-50X 50mm 2μm 30kg
Xステージ PK180C-100X 100mm ±1μm 40kg
XYステージ PK70C-20XY 20×20mm ±0.5μm 1μm 9kg
XYステージ PK100C-25XY 25×25mm 18kg
XYステージ PK120C-50XY 50×50mm 2μm 24kg
XYステージ PK180C-100XY 100×100mm ±1μm 30kg
Zステージ PK70C-20Z 20mm ±0.5μm 1μm 3kg
Zステージ PK100C-25Z 25mm
Zステージ PK120C-50Z 50mm 2μm 9kg
Zステージ PK180C-100Z 100mm ±1μm

PT series

性能チャートグラフ

特長

顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に最適な高精度・超薄型タイプです。各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。

(*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。
移動方向 型式 ストローク 繰返し
位置決め精度
真直度 耐荷重
XYステージ PT100C-20XY 20×20mm ±1μm 5μm 5kg
XYステージ PT100C-50XY 50×50mm
XYステージ PT140C-100XY 100×100mm 15μm
XYステージ PT250C-200XY 200×200mm ±2μm 垂直:30μm
水平:15μm
10kg
XYステージ PT350C-300XY 300×300mm 垂直:40μm
水平:15μm