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高精度ステッピングモータステージでは、精密研削ねじ・精密ボールねじ駆動によるXステージ、XYステージ、Zステージ、回転ステージ、スイベルステージを各種 取りそろえております。 ガイド方式・移動軸・ストローク・位置決め精度・耐荷重など、幅広いバリエーションの
各機種より最適なステッピングモータステージを選択いただけます。
こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。
ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。
高精度ステッピングモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。
* XYステージ、Zステージの各精度項目は、Xステージ単体の精度を記載したものです。(PT series を除く)
| 性能チャートグラフ | PP series Xステージ |
PP series XYステージ |
|---|---|---|
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特長超極細スリムボディに高信頼性直動機構を搭載した新シリーズ 高精度スーパースリムステージです。 狭小スペースで高精度かつ長距離の位置決めを実現できます。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 (*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PP15S-10X | 10mm | ±2μm | 3μm | 3kg |
| Xステージ | PP15S-25X | 25㎜ | 3μm | 3kg | |
| Xステージ | PP15S-50X | 50mm | 5μm | 3kg | |
| Xステージ | PP15S-100X | 100㎜ | 10μm | 3kg | |
| XYステージ | PP15S-10XY | 10×10㎜ | 3μm | 3kg | |
| XYステージ | PP15S-25XY | 25×25mm | 3μm | 3kg | |
| XYステージ | PP15S-50XY | 50×50㎜ | 5μm | 2.5kg | |
| XYステージ | PP15S-100XY | 100×100㎜ | 10μm | 2.5kg |
| 性能チャートグラフ | PQ series Xステージ |
PQ series XYステージ |
|---|---|---|
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特長超短胴コンパクトボディに高信頼性直動機構を搭載した新シリーズ 高精度スーパースリムステージです。 高精度、長距離の位置決めを省スペースで実現します。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 (*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PQ15S-10X | 10mm | ±2μm | 3μm | 3kg |
| Xステージ | PQ15S-25X | 25㎜ | 3μm | 3kg | |
| Xステージ | PQ15S-50X | 50mm | 5μm | 3kg | |
| Xステージ | PQ15S-100X | 100㎜ | 10μm | 3kg | |
| XYステージ | PQ15S-10XY | 10×10㎜ | 3μm | 3kg | |
| XYステージ | PQ15S-25XY | 25×25mm | 3μm | 3kg | |
| XYステージ | PQ15S-50XY | 50×50㎜ | 5μm | 2.5kg | |
| XYステージ | PQ15S-100XY | 100×100㎜ | 10μm | 2.5kg |
| 性能チャートグラフ | PM series Xステージ |
PM series XYステージ |
PM series Zステージ |
|---|---|---|---|
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特長一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペースタイプです。U字型アウターレール構造+4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 (*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PM40B-25X | 25mm | ±2μm | 3μm | 10kg |
| Xステージ | PM80B-50X | 50㎜ | 3μm | 20kg | |
| Xステージ | PM80B-100X | 100mm | 5μm | 20kg | |
| Xステージ | PM80B-200X | 200㎜ | 8μm | 20kg | |
| XYステージ | PM40B-25XY | 25×25㎜ | 3μm | 5kg | |
| XYステージ | PM80B-50XY | 50×50mm | 3μm | 15kg | |
| XYステージ | PM80B-100XY | 100×100㎜ | 5μm | 15kg | |
| XYステージ | PM80B-200XY | 200×200㎜ | 8μm | 15kg | |
| Zステージ | PM40B-25Z | 25㎜ | 3μm | 2kg | |
| Zステージ | PM80B-50Z | 50㎜ | 3μm | 3kg | |
| Zステージ | PM80B-100Z | 100mm | 5μm | 3kg | |
| Zステージ | PM80B-200Z | 200mm | 8μm | 3kg |
| 性能チャートグラフ | PA series Xステージ |
PA series XYステージ |
PA series Zステージ |
|---|---|---|---|
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特長リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。 ねじリード5㎜の精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・ 高速移動が可能です。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PA180S-50X | 50mm | ±1μm | 3μm | 50kg |
| Xステージ | PA180S-100X | 100mm | 3μm | ||
| Xステージ | PA180S-200X | 200mm | 5μm | ||
| Xステージ | PA180S-300X | 300mm | 8μm | ||
| Xステージ | PA180S-400X | 400mm | 10μm | ||
| Xステージ | PA180S-500X | 500mm | 13μm | ||
| Xステージ | PA180S-800X | 800mm | 20μm | ||
| XYステージ | PA180S-50XY | 50×50mm | 3μm | 40kg | |
| XYステージ | PA180S-100XY | 100×100mm | 3μm | ||
| XYステージ | PA180S-200XY | 200×200mm | 5μm | ||
| XYステージ | PA180S-300XY | 300×300mm | 8μm | ||
| XYステージ | PA180S-400XY | 400×400mm | 10μm | ||
| Zステージ | PA180S-50Z | 50mm | 3μm | 11kg | |
| Zステージ | PA180S-100Z | 100mm | 3μm | ||
| Zステージ | PA180S-200Z | 200mm | 5μm | ||
| Zステージ | PA180S-300Z | 300mm | 8μm |
| 性能チャートグラフ | PK series Xステージ |
PK series XYステージ |
PK series Zステージ |
|---|---|---|---|
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特長クロスローラとV溝によるガイドシステムを用いた高精度タイプです。 高精度・高剛性・低摩擦によりあらゆる高精度用途に対応 できます。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PK70C-20X | 20mm | ±0.5μm | 1μm | 10kg |
| Xステージ | PK100C-25X | 25mm | 20kg | ||
| Xステージ | PK120C-50X | 50mm | 2μm | 30kg | |
| Xステージ | PK180C-100X | 100mm | ±1μm | 40kg | |
| XYステージ | PK70C-20XY | 20×20mm | ±0.5μm | 1μm | 9kg |
| XYステージ | PK100C-25XY | 25×25mm | 18kg | ||
| XYステージ | PK120C-50XY | 50×50mm | 2μm | 24kg | |
| XYステージ | PK180C-100XY | 100×100mm | ±1μm | 30kg | |
| Zステージ | PK70C-20Z | 20mm | ±0.5μm | 1μm | 3kg |
| Zステージ | PK100C-25Z | 25mm | |||
| Zステージ | PK120C-50Z | 50mm | 2μm | 9kg | |
| Zステージ | PK180C-100Z | 100mm | ±1μm |
| 性能チャートグラフ | PT series XYステージ |
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特長顕微鏡搭載・低床スペースの装置組込に最適な高精度・超薄型タイプです。 各社顕微鏡への搭載が可能で、透過照明にも対応できます。 |
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| (*1):位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
(*2):真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| XYステージ | PT100C-20XY | 20×20mm | ±1μm | 5μm | 5kg |
| XYステージ | PT100C-50XY | 50×50mm | |||
| XYステージ | PT140C-100XY | 100×100mm | 15μm | ||
| XYステージ | PT250C-200XY | 200×200mm | ±2μm | 垂直:30μm 水平:15μm |
10kg |
| XYステージ | PT350C-300XY | 300×300mm | 垂直:40μm 水平:15μm |
ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。