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商品分類
高精度自動ステージ（位置決めステージ）
精密卓上3軸ロボット
3次元測定器・専用計測システム
汎用計測システム
制御ボックス（制御BOX）
■
ステージ詳細
軸方向
Ｘ軸
ＸＹ軸
Ｚ軸
回転
スイベル
駆動方式
ステッピングモータ
ＡＣサーボモータ
シャフトモータ
ストローク
100mm以下
200〜300mm
400mm以上
ガイド方式
クロスローラガイド
リニアボールガイド
リニアスライドガイド
位置決め精度
±5μm以下
±10μm以下
±10μm以上
平行度
±5μm以下
±10μm以下
±10μm以上
特長
スペース重視
耐荷重重視
スピード重視
