ホーム > 製品一覧 > カスタム計測システム > 非接触厚み測定システム > トップ

非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システム

レーザ変位センサを２台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。
自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に
測定することが可能です。

特長

専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定

非接触レーザ変位センサを使用して厚み測定をする場合、２台のセンサの位置合わせ、しっかりとした固定、サンプルの設定が、
測定結果に大きな影響を与えます。
専用厚み測定冶具には、レーザ変位センサ専用の固定治具、サンプル設置台があらかじめセットアップしてあるため、
レーザ変位センサの取付け、測定サンプルの設定が非常に簡単におこなえます。

自動ステージシステム搭載の専用厚み測定冶具にて、サンプル設定も簡単 非接触厚み測定システムでは、センサの固定冶具、 上下センサの微妙な位置調整機能、専用サンプル台が、自動ステージシステムと一体化し、簡単に測定がおこなえます。 サンプルの大きさ・形状等に合わせ、サンプル設置部分はあらゆるカスタマイズ可能 厚みを測定するサンプルの大きさ・形状に合わせ、 サンプル設置部分はあらゆるカスタマイズが可能です。 ウエハや基板、液晶ガラスなど、測定サンプルに 応じて、最適なシステムをご提案いたします。

測定対象物を選ばない非接触厚み測定

非接触レーザ変位センサで計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。
半導体ウエハや液晶ガラスなど、表面に接触することができないサンプルや、接触すると形状が変化するような柔らかいサンプルなど
従来の接触式厚み測定器では、測定が困難な対象物の厚みを測定可能にします。

マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能

レーザ変位センサは、センサ部と測定対象物の相対的な距離（位置）を測定する計測器ですが、
２台のレーザ変位センサにて挟み込んで測定する際に、ブロックゲージや厚みゲージなどの正確に厚みのわかっている
マスターサンプルを測定し、キャリブレーションをおこなうことで、正確に厚みの絶対値測定が可能になります。
厚み測定冶具には、厚みゲージなどの基準ゲージを取り付ける事が可能で、測定を開始する際に、一旦正確にキャリブレーションをして、 厚みを測定することができるため、信頼性のある測定を可能としました。

位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定

自動ステージの位置決め、測定データの収集、上下レーザ変位センサの測定データの演算、結果（交差判定、良品・ 不良品判定）まで
すべて簡単なＥＸＣＥＬ連動の計測・位置決めアプリケーションソフトE-mesure　１つでできます。
測定設定後は、ボタン一つですべて測定が可能となります。

ウエハ厚み測定用のExcelアドインソフトもご用意 非接触厚み測定システムにて、測定のご要望の多い半導体ウエハ測定 には、ウエハ厚み測定専用のExcelアドインソフトをご用意しております。 微細な表面変化から、大きな変化まで、これ１台で測定できます。 ウエハの厚みムラや、うねり・反りの測定が簡単に設定・測定可能です。

ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応

測定対象物の大きさ、厚み等により、対象物の固定治具や、システムをユーザ様のご要望に応じてあらゆるカスタマイズに対応します。 12インチウエハなど、大型サンプルでの実績もございますので、お気軽にご相談ください。