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専用計測システム

ウエハ厚み測定システム

ウエハ厚み測定システム

ウェハの厚みを非接触・高精度に測定するシステムです。市販のレーザ変位センサを2台使用することで、ウェハの表面・裏面の変位を傷つけることなく測定して、高精度のXY軸自動ステージで、高精度に位置決めしながら測定データを自動収集することができます。

非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システム

レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。接触できないウエハや基板、液晶ガラスなどの厚み測定に最適です。対象物の大きさや形状に応じて、あらゆるカスタマイズに対応します。

液晶視野角特性評価システム EMSシリーズ

液晶視野角特性評価システム  EMSシリーズ

液晶視野角特性評価は、液晶パネルの位置決め、分光輝度計のデータ収集など、手動での測定は非常に手間が掛かります。EMS seriesは、液晶視野角測定において、液晶パネルの位置制御+液晶表示画像制御+分光輝度計データ収集を全て自動で測定することを可能にするシステムです。視野角特性評価の工数を大幅に削減することが可能です。ローコストでシステム構築ができ、お客様の仕様に応じたカスタマイズが可能ですので、 多種・多様なパネルにも最適なシステムをご提案します。

高精度3次元形状測定システム E-Measure3dシリーズ(市販センサ使用タイプ)

ウエハ厚み測定システム

市販のレーザ変位センサを使用できるローコストタイプの3次元形状測定システムです。お手持ちのレーザ変位センサを利用できるため、ローコストで簡単に形状測定 システムの構築が可能となります。測定対象物・測定範囲・ご要求精度等のご仕様にあわせ、 自由にセンサを選択することができます。