ウェハ厚み測定システム

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ウェハ厚み測定システム

ウェハ厚み測定システム仕様表

自動ステージシステム部

型式	WAP-100XY	WAP-200XY	WAP-300XY
移動方向	XY軸
移動量	100×100㎜	200×200㎜	300×300㎜
測定可能ウェハサイズ	2,3,4インチ	2,3,4,5,6,8インチ	2,3,4,5,6,8,12インチ
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード5㎜
モータ	0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能	0.5μm　　（分割数：1/20設定時）
位置決め精度	15μm	25μm	30μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度（水平・垂直）	10μm
平行度Ａ	15μm	20μm	20μm
最大移動速度	30㎜/sec
耐荷重	15kg
自重	92kg	97kg	107kg

レーザ変位センサ部

測定分解能	0.01μm*1
繰り返し精度	0.01μm*1
測定基準距離	10㎜*1
測定範囲	±1㎜*1
センサヘッド位置調整	マイクロメータヘッド付手動ステージ

*1　システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。 　　実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。

コントローラ部

型式	CP-700M
制御軸数	2軸
最大駆動速度	4Mpps（高精度補間時：500kpps）
最小駆動速度	1pps
加減速時間	0～65,535msec
分割数(CP-D7使用時）	1～250分割　16段階切替
インタフェイス	USB（ver1.1）
入力電圧／消費電流	DC21.6～26.4V（DC24V±10%）／0.5A
最大消費電力	250VA（オプションACアダプタAD-100N使用時）
サイズ/自重	155×180×60（H）㎜ / 1300g

ソフトウェア部

型式	WAP
対応機器（自動ステージ）	当社自動ステージシステム、コントローラ
対応機器（計測機器）	汎用RS232C計測機器 RS232C通信規格に準拠したインタフェイスを持つ計測器 アスキーコード（文字列）の計測コマンドの送信により計測値を返信する計測器
計測方法	＜ポイント計測＞ ウェハサイズに合わせた任意の位置5点、9点、17点から選択して測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、 TV5の結果を表示します。
	＜領域測定＞ ウェハサイズに合わせた格子状の位置5mmピッチ、10mmピッチから選択して 測定を行います データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、 TTV（参考値）、反りの結果を表示します。
	＜カスタム測定＞ お客様にてExcelファイルで作成しました座標指示プログラム、 及び測定結果を登録しまして測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。

対応するOS

こちらをご参照ください。

価格

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