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高精度ＡＣサーボモータステージ　SAFシリーズ

高精度ＡＣサーボモータステージ　選定ガイド

高精度ＡＣサーボモータステージの選定ガイドです。 各機種の代表的な仕様・特長をご紹介します。
高精度ＡＣサーボモータステージでは、ガイド方式・移動軸・ストローク・分解能・位置決め精度など、幅広いバリエーションから
最適なステージを選択いただけます。

こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。
ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。

高精度ＡＣサーボモータステージ　主要項目比較

高精度ＡＣサーボモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。 詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。

SAFA series

性能チャートグラフ	SAFA series Xステージ	SAFA series XYステージ	SAFA series Zステージ
	特長 リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。 高い再現性を持つステージシステムにより大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に 行なえます。

（*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。

　　　　　　　

移動方向	型式	ストローク	繰返し 位置決め精度	進直度	耐荷重
Xステージ	SAFA-50XTI	50mm	±1μm	3μm	50kg
Xステージ	SAFA-100XTI	100mm
Xステージ	SAFA-200XTI	200mm		5μm
Xステージ	SAFA-300XTI	300mm		8μm
Xステージ	SAFA-400XTI	400mm		10μm
Xステージ	SAFA-500XTI	500mm		13μm
Xステージ	SAFA-600XTI	600mm		15μm
Xステージ	SAFA-700XTI	700mm		18μm
Xステージ	SAFA-800XTI	800mm		20μm
XYステージ	SAFA-50XYTI	50×50mm		3μm	40kg
XYステージ	SAFA-100XYTI	100×100mm
XYステージ	SAFA-200XYTI	200×200mm		5μm
XYステージ	SAFA-300XYTI	300×300mm		8μm
XYステージ	SAFA-400XYTI	400×400mm		10μm
Zステージ	SAFA-50ZTI-B	50mm		3μm	10kg
Zステージ	SAFA-100ZTI-B	100mm
Zステージ	SAFA-200ZTI-B	200mm		5μm
Zステージ	SAFA-300ZTI-B	300mm		8μm

SAFG series

性能チャートグラフ	SAFG series Xステージ	SAFG series XYステージ	SAFG series Zステージ
	特長 一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペース・ローコストモデルです。 Ｕ字型アウターレール構造＋4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。

（*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。

　　　　　　　

移動方向	型式	ストローク	繰返し 位置決め精度	進直度	耐荷重
Xステージ	SAFG-50XTI	50mm	±2μm	5μm	20kg
Xステージ	SAFG-100XTI	100mm		10μm
Xステージ	SAFG-200XTI	200mm
Xステージ	SAFG-300XTI	300mm		20μm
Xステージ	SAFG-400XTI	400mm
XYステージ	SAFG-50XYTI	50×50mm		5μm	10kg
XYステージ	SAFG-100XYTI	100×100mm		10μm
XYステージ	SAFG-200XYTI	200×200mm
Zステージ	SAFG-50ZTI-B	50mm		5μm	5kg
Zステージ	SAFG-100ZTI-B	100mm		10μm
Zステージ	SAFG-200ZTI-B	200mm
Zステージ	SAFG-300ZTI-B	300mm		20μm
Zステージ	SAFG-400ZTI-B	400mm

SAFB series

性能チャートグラフ	SAFB series Xステージ	SAFB series Zステージ
	特長 一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペース・ローコストモデルです。 Ｕ字型アウターレール構造＋4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。

（*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。

　　　　　　　

移動方向	型式	ストローク	繰返し 位置決め精度	進直度	耐荷重
Xステージ	SAFB-400XHI	400mm	±2μm	20μm	15kg
Xステージ	SAFB-500XHI	500mm		25μm
Xステージ	SAFB-600XHI	600mm
Xステージ	SAFB-700XHI	700mm		30μm
Xステージ	SAFB-800XHI	800mm
Xステージ	SAFB-900XHI	900mm		40μm
Xステージ	SAFB-1000XHI	1000mm		50μm
Zステージ	SAFB-400ZHI-B	400mm		20μm	8kg
Zステージ	SAFB-500ZHI-B	500mm		25μm
Zステージ	SAFB-600ZHI-B	600mm

SAFK series

性能チャートグラフ	SAFK series Xステージ	SAFK series XYステージ	SAFK series Zステージ
	特長 クロスローラとＶ溝によるガイドシステムを用いた高精度モデルです。 高精度・高剛性・低摩擦により低速から高速まで安定した高い走行性能を発揮します。

（*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。

　　　　　　　

移動方向	型式	ストローク	繰返し 位置決め精度	進直度	耐荷重
Xステージ	SAFK-50XFI	50mm	±1μm	2μm	60kg
Xステージ	SAFK-100XFI	100mm
Xステージ	SAFK-200XFI	200mm		5μm
Xステージ	SAFK-300XFI	300mm		7μm
XYステージ	SAFK-50XYFI	50×50mm		2μm	25kg
XYステージ	SAFK-100XYFI	100×100mm
XYステージ	SAFK-200XYFI	200×200mm		5μm
XYステージ	SAFK-300XYFI	300×300mm		7μm
Zステージ	SAFK-50ZFI-B	50mm		2μm	3kg
Zステージ	SAFK-100ZFI-B	100mm
Zステージ	SAFK-200ZFI-B	200mm		5μm
Zステージ	SAFK-300ZFI-B	300mm		7μm

SAFK-H series

性能チャートグラフ	SAFK-H series Xステージ
	特長 高精度クロスローラガイド式ＳＡＦＫシリーズに超高精度ハイデンハイン社製 リニアスケールを搭載 フルクローズドループ制御により全ストロークにおいて高精度な位置決めが可能です。

（*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。

　　　　　　　

移動方向	型式	ストローク	繰返し 位置決め精度	進直度	耐荷重
Xステージ	SAFK-50XFI-H	50mm	±0.2μm	2μm	60kg
Xステージ	SAFK-100XFI-H	100mm
Xステージ	SAFK-200XFI-H	200mm		5μm
Xステージ	SAFK-300XFI-H	300mm		7μm