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高精度ACサーボモータステージ SAFシリーズ
SAFK series
クロスローラとV溝によるガイドシステムを用いた高精度モデルです。
高精度・高剛性・低摩擦により低速から高速まで安定した高い走行性能を発揮します。
| axis |
guide |
controller |
| Z 軸 |
クロスローラガイド 精密ボールねじ |
 |
SAFK series Z軸ステージ<ストローク50mm~300mmタイプ> 仕様表
仕様
| 型式 |
SAFK-50ZFI-B |
SAFK-100ZFI-B |
SAFK-200ZFI-B |
SAFK-300ZFI-B |
| 移動方向 |
Z軸 |
| 移動量 |
50㎜ |
100㎜ |
200㎜ |
300㎜ |
| テーブルサイズ |
170×170㎜ |
210×200㎜ |
330×200㎜ |
450×200㎜ |
| ガイド方式 |
クロスローラガイド |
| 送り方式 |
精密ボールねじ リード5㎜ |
| モータ |
100W ACサーボモータ(安川電機:∑Ⅲ/Ⅴ相当品) |
| 保持ブレーキ付/17~20bitシリアルエンコーダ搭載 |
| 搭載センサ |
リミット(CW/CCW)センサ、原点近接センサ |
| 自重 |
13.5kg |
19.5kg |
28.5kg |
41kg |
| 主要材質/外観 |
鋼/レイデント処理 |
| 分解能 |
0.25μm(電子ギア比 1048576/20000) |
| 最大加速度 |
0.17G |
| 最大速度 |
250mm/sec |
| 耐荷重 |
3kg |
<単軸精度>
| 位置決め精度 |
6μm |
8μm |
15μm |
20μm |
| 繰返し位置決め精度 |
±1μm |
| バックラッシュ |
1μm |
| ロストモーション |
1μm |
2μm |
| 真直度(水平・垂直) |
2μm |
5μm |
7μm |
| 平行度A |
5μm |
7μm |
10μm |
| 価格(税抜き) |
¥870,000 |
¥935,000 |
¥1,025,000 |
¥1,195,000 |
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