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高精度ＡＣサーボモータステージ SAFシリーズ
SAFA series
リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。
高い再現性を持つステージシステムにより大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に
行なえます。
| axis | guide | controller |
|---|---|---|
| XY 軸 | リニアスライドガイド 精密ボールねじ |
 |
SAFA series XY軸ステージ＜ストローク50mm～400mmタイプ＞ 仕様表
仕様
| 型式 | SAFA-50XYTI | SAFA-100XYTI | SAFA-200XYTI | SAFA-300XYTI | SAFA-400XYTI |
|---|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||||
| 移動量 | 50×50㎜ | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ | 400×400㎜ |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | ||||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | ||||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード10㎜ | ||||
| モータ | 200W ACサーボモータ（安川電機：∑Ⅲ/Ⅴ相当品）） | ||||
| 17～20bitシリアルエンコーダ搭載 | |||||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | ||||
| 自重 | 17kg | 18kg | 21kg | 24kg | 27kg |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理 | ||||
| 分解能 | 0.5μm （電子ギヤ比 1048576/20000時） |
|---|---|
| 最大加速度 | 0.26G |
| 最大速度 | 500mm/sec |
| 耐荷重 | 40kg |
＜単軸精度＞
| 位置決め精度 | 5μm | 8μm | 12μm | 15μm | 25μm |
|---|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ||||
| バックラッシュ | 1μm | ||||
| ロストモーション | 5μm | ||||
| 真直度（水平・垂直） | 3μm | 3μm | 5μm | 8μm | 10μm |
| 平行度Ａ | 5μm | 5μm | 10μm | 15μm | 25μm |
| 価格（税抜き） | ￥820,000 | ￥860,000 | ￥900,000 | ￥980,000 | ￥1,080,000 |
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