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高精度ＡＣサーボモータステージ　SAFシリーズ

SAFA series　X軸ステージ＜ストローク50mm～800mmタイプ＞ 仕様表

仕様1　＜ストローク　50mm～400mm＞

型式	SAFA-50XTI	SAFA-100XTI	SAFA-200XTI	SAFA-300XTI	SAFA-400XTI
移動方向	X軸
移動量	50㎜	100㎜	200㎜	300㎜	400㎜
テーブルサイズ	180×180㎜
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード10㎜
モータ	200W ACサーボモータ（安川電機：∑Ⅲ/Ⅴ相当品）
	17～20bitシリアルエンコーダ搭載
搭載センサ	リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ
自重	8.5kg	9kg	10.5kg	12kg	13.5kg
主要材質／外観	アルミ合金／黒アルマイト処理

分解能	0.5μm　（電子ギヤ比 1048576/20000時）
最大加速度	0.26G
最大速度	500mm/sec
耐荷重	50kg

位置決め精度	5μm	8μm	12μm	15μm	25μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度（水平・垂直）	3μm	3μm	5μm	8μm	10μm
平行度Ａ	5μm	5μm	10μm	15μm	25μm

価格（税抜き）	￥410,000	￥430,000	￥450,000	￥490,000	￥540,000

仕様2　＜ストローク　500mm～800mm＞

型式	SAFA-500XTI	SAFA-600XTI	SAFA-700XTI	SAFA-800XTI
移動方向	X軸
移動量	500㎜	600㎜	700㎜	800㎜
テーブルサイズ	180×180㎜
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード10㎜
モータ	200W ACサーボモータ（安川電機：∑Ⅲ/Ⅴ相当品）
	17～20bitシリアルエンコーダ搭載
搭載センサ	リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ
自重	15kg	16.5kg	18kg	19.5kg
主要材質／外観	アルミ合金／黒アルマイト処理

分解能	0.5μm　（電子ギヤ比 1048576/20000時）
最大加速度	0.26G
最大速度	500mm/sec
耐荷重	50kg

位置決め精度	30μm	40μm	50μm	60μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度（水平・垂直）	13μm	15μm	18μm	20μm
平行度Ａ	25μm	30μm	30μm	35μm

価格（税抜き）	￥590,000	￥620,000	￥650,000	￥680,000