ホーム > 製品一覧 > 高精度自動ステージ（位置決めステージ） > 高精度ＡＣサーボモータステージ SAFシリーズ > 機種一覧 X軸 > SAFK-H series
高精度ＡＣサーボモータステージ SAFシリーズ
SAFK-H series
高精度クロスローラガイド式ＳＡＦＫシリーズに超高精度ハイデンハイン社製
リニアスケールを搭載
フルクローズドループ制御により全ストロークにおいて高精度な位置決めが可能です。
| axis | guide | controller |
|---|---|---|
| X 軸 | クロスローラガイド 精密ボールねじ |
 |
SAFK-H series X軸ステージ＜ストローク50mm～300mmタイプ＞ 仕様表
仕様
| 型式 | SAFK-50XFI-H | SAFK-100XFI-H | SAFK-200XFI-H | SAFK-300XFI-H |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 50㎜ | 100㎜ | 200㎜ | 300㎜ |
| テーブルサイズ | 170×170㎜ | 210×200㎜ | 330×200㎜ | 450×200㎜ |
| ガイド方式 | クロスローラガイド | |||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | |||
| モータ | 100W ACサーボモータ（安川電機：∑Ⅲ/Ⅴ相当品） | |||
| 17～20bitシリアルエンコーダ搭載 | ||||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | |||
| 搭載スケール | ハイデンハイン製 / レニショー製 | |||
| 自重 | 11.5kg | 15.5kg | 23kg | 33kg |
| 主要材質／外観 | 鋼／レイデント処理 | |||
| 分解能 | 0.25μm（電子ギア比 1048576/20000） |
|---|---|
| 最大加速度 | 0.17G |
| 最大速度 | 250mm/sec |
| 耐荷重 | 60kg |
| 位置決め精度 | 2μm | |||
|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.2μm | |||
| バックラッシュ | 0.5μm | |||
| ロストモーション | 1μm | 2μm | ||
| 真直度（水平・垂直） | 2μm | 5μm | 7μm | |
| 平行度Ａ | 5μm | 7μm | 10μm | |
| 価格（税抜き） | お問い合せ下さい。 |
|---|
ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。お気軽にお問い合わせ下さい。