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高精度ＡＣサーボモータステージ SAFシリーズ
SAFG series
一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペース・ローコストモデルです。
Ｕ字型アウターレール構造＋4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。
| axis | guide | controller |
|---|---|---|
| XY 軸 | リニアボールガイド 精密ボールねじ |
 |
SAFG series XY軸ステージ＜ストローク50mm～200mmタイプ＞ 仕様表
仕様
| 型式 | SAFG-50XYTI | SAFG-100XYTI | SAFG-200XYTI |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 50×50㎜ | 100×100㎜ | 200×200㎜ |
| テーブルサイズ | 100×100㎜ | ||
| ガイド方式 | リニアボールガイド | ||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード10mm | ||
| モータ | 100W ACサーボモータ（安川電機：∑Ⅲ/Ⅴ相当品） | ||
| 17～20bitシリアルエンコーダ搭載 | |||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | ||
| 自重 | 6kg | 7kg | 9kg |
| 主要材質／外観 | 鋼材/レイデント処理 | ||
| 分解能 | 0.5μm（電子ギア比 1048576/20000） |
|---|---|
| 最大加速度 | 0.34G |
| 最大速度 | 500mm/sec |
| 耐荷重 | 10kg |
＜単軸精度＞
| 位置決め精度 | 12μm | 12μm | 18μm |
|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±2μm | ||
| バックラッシュ | 2μm | ||
| ロストモーション | 3μm | ||
| 真直度（水平・垂直） | 5μm | 10μm | 10μm |
| 平行度Ａ | 10μm | 15μm | 15μm |
| 価格（税抜き） | ￥560,000 | ￥600,000 | ￥660,000 |
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